精密容柵式與電容式位移傳感器的主要特點(diǎn)有什么區(qū)別？
電容式傳感器是以各類(lèi)的電容器作為傳感元件，將被測(cè)物理量或機(jī)械量轉(zhuǎn)換成為電容量變化的一種轉(zhuǎn)換裝置。因此電容式傳感器電容傳感器的阻抗很高！造成輸出阻抗小，負(fù)載能力差！容易受外界因素干擾！產(chǎn)生不穩(wěn)定現(xiàn)象！容柵式傳感器是一種基本變面積工作的原理。所以容柵式傳感器類(lèi)似于平行板電容器！是由一組排列成柵狀結(jié)構(gòu)的平行板電容并聯(lián)起來(lái)的！通過(guò)電子電路的控制，在同一個(gè)瞬間以不同的相位分布！又分別加載于順序排列的極柵上！這時(shí)候另外一塊公共極板上，任何信號(hào)都將會(huì)瞬間加載在激容柵傳感器！簡(jiǎn)單的說(shuō)，電容式是分布在同一電路板上的不同電容！容易受外界因素影響，產(chǎn)生不穩(wěn)現(xiàn)象！而容柵式傳感器是將相同的電容分布在不同的的電路板上，又是的他們互相串聯(lián)！從而使得抗外界影響能力大大提高！不過(guò)成本也對(duì)應(yīng)提高很多！所以容柵式傳感器在電子測(cè)量領(lǐng)域中占有十分重要的地位！除去這兩種不同結(jié)構(gòu)卻相同原理傳感器之外！還有磁柵尺，光柵尺等！
首先不同行業(yè)對(duì)精密的定義不甚一樣。其中主要設(shè)計(jì)的概念包括精度，分辨率和重復(fù)性。精度也稱(chēng)線(xiàn)性度，或者絕對(duì)誤差。指?jìng)鞲衅鳒y(cè)量值偏離理論真實(shí)值的最大偏差。分辨率指?jìng)鞲衅髂軌虍a(chǎn)生輸出變化所需的最小位移變化量。重復(fù)性指?jìng)鞲衅鞣磸?fù)測(cè)量同一位置，測(cè)量值之間的變化量。高端精密電容位移傳感器，精度可達(dá)納米級(jí)別。分辨率會(huì)更小，重復(fù)性很大程度上取決于傳感器是否有好的溫度補(bǔ)償功能和環(huán)境的穩(wěn)定性。電容傳感器目前國(guó)際上比較高端的牌子有德國(guó)米銥和美國(guó)MTI,當(dāng)然價(jià)格也會(huì)相對(duì)高一些。如果是真的需要超高性能的領(lǐng)域，如精密零件的測(cè)量，精密機(jī)構(gòu)的移動(dòng)（如光刻機(jī)定位）等，還是要采用高端的傳感器。
電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測(cè)量?jī)x器，具有一般非接觸式儀器所共有的無(wú)磨擦、無(wú)損磨和無(wú)惰性特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線(xiàn)性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。在國(guó)內(nèi)研究所，高等院校、工廠(chǎng)和軍工部門(mén)得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種不可缺少的測(cè)試儀器。目前主要類(lèi)型為ZCS1100型、ZNXsensor型、FWS-CⅡ型、FW-C1型。編輯本段電容位移傳感器特點(diǎn):1.旋轉(zhuǎn)軸的徑向跳動(dòng)，軸向竄動(dòng)和回轉(zhuǎn)精度；2.往復(fù)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)特性和重復(fù)定位精度；電容位移傳感器3.正弦波激振和脈激振中振動(dòng)測(cè)量；4.機(jī)器零部件相對(duì)振動(dòng)相對(duì)變形；5.盤(pán)類(lèi)零件的端面振擺；6.軸承間隙和油膜厚度；7.檢測(cè)零部件尺寸和平直度；8.線(xiàn)切割機(jī)床電極絲的振動(dòng)；9.機(jī)床主軸熱位移與動(dòng)態(tài)加載試驗(yàn)測(cè)量；10.也可用于金屬導(dǎo)體之外的絕緣物體（如大理石、塑料、砂輪、玻璃、陶瓷等）的振動(dòng)、位移測(cè)量。電容位移傳感器特點(diǎn)：量程：初始間隙δo與傳感器電極板do分辨率：0.01nm零磁滯非線(xiàn)性：±0.25%FSO頻帶可調(diào)：50～5000Hz靈敏度可調(diào)：5～125μm/V輸出信號(hào)：0—±5.0V零漂：≤±0.25%FSO電源：±15V體積：19cm×12cm×8cm。
