mems氣體流量傳感器是什么，MEMS傳感器的感應技術應用
MEMS氣體流量傳感器：高精度，檢測流量范圍廣，適用于各種需求的流量計測。MEMS壓力傳感器：性能偏差小的MEMS壓力傳感器。MEMS非接觸溫度傳感器：對靜止人體也能檢測，高靈敏度的人體感應傳感器。MEMS開關：高頻，小型，長壽命的MEMS開關。
MEMS即微機電系統（Microelectro Mechanical Systems）是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。截止到2010年，全世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產工作，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數字微鏡顯示器在內的幾百種產品，其中MEMS傳感器占相當大的比例。
MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。與傳統的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功能。
當發生振動時，傳感器處于連續的通、斷狀態。通過有針對性的緩沖結構設計和更優化的MEMS芯片布局，顯著降低了MEMS型光濾波器在在線振動沖擊試驗中的頻率漂移，通常使用在震動報警中，比如汽車防盜、自行車防盜、家庭物品移動報警等。凡是需要移動報警的場合都適用。
根據濾波器的選頻作用可分類：低通濾波器從0到f2頻率之間，幅頻特性平直，它可以使信號中低于f2的頻率成分幾乎不受衰減地通過，而高于f2的頻率成分受到極大地衰減。高通濾波器與低通濾波相反，從頻率f1到∞，其幅頻特性平直。它使信號中高于f1的頻率成分幾乎不受衰減地通過，而低于f1的頻率成分將受到極大地衰減。帶通濾波器它的通頻帶在f1到f2之間。它使信號中高于f1而低于f2的頻率成分可以不受衰減地通過，而其它成分受到衰減。帶阻濾波器與帶通濾波相反，阻帶在頻率f1到f2之間。它使信號中高于f1而低于f2的頻率成分受到衰減，其余頻率成分的信號幾乎不受衰減地通過。
