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MEMS傳感器芯片制造,MEMS傳感器通用規(guī)格組件性能!

發(fā)布時間:2023-07-25 14:21:27點擊量:

 由于微機電系統(tǒng)(MEMS)器件制造的進步,此類傳感器已成為具有優(yōu)異性能/成本比的大眾市場產(chǎn)品。TILTIX傾角儀的基本測量組件是嵌入在完全封裝的ASIC中的MEMS傳感器單元。


 通用規(guī)格


 1、傳感器循環(huán)時間:這是基礎傳感器的內部循環(huán)時間。5ms的循環(huán)時間意味著位置值每5ms更新一次。


 2、接口周期時間:這是通過通信接口傳輸位置值的周期時間。與傳感器循環(huán)時間(固定值)相比,客戶可以在接口級別輕松調整接口循環(huán)時間。


 3、絕對精度:絕對精度是在定義的范圍內測量位置與實際位置之間的最壞情況偏差。


 4、偏移:當傾角儀位于零位時,輸出會出現(xiàn)較小的偏差。這種零電平誤差稱為偏移誤差。


 5、動態(tài)精度:該精度的確定方式與絕對精度相同,只是設備受到外部振動和加速度的影響。動態(tài)精度是在模擬移動機器移動環(huán)境的不同設備上進行實驗室測試時確定的。


 所規(guī)定的動態(tài)精度作為參考值;我們建議在您自己的機器上評估動態(tài)行為,因為振動和沖擊因機器而異。


 實驗室測試使用以下設備進行:


 1、線性加速度:傳感器在1秒內沿一個軸以10 m/s2加速


 2、振動:1-1000 Hz之間的不同振動頻率,力為1g


 3、解決方案:這是盡可能最小的步驟


 4、滯后:滯后的定義是系統(tǒng)的輸出值不僅取決于實際輸入,還取決于過去的輸入。對于傾斜儀來說,這意味著測量的傾斜角度也取決于過去的位置。無論傾斜儀傾斜0°到10°還是20°到10°,都會有微小的差異。這種差異通過滯后現(xiàn)象來描述。


 5、溫度梯度:該值描述了溫度變化時測量的傾斜角度的變化。如果傾斜儀處于靜止位置,溫度降低或升高,輸出值也會根據(jù)溫度梯度而變化。


 6、穩(wěn)定時間:這是描述系統(tǒng)動態(tài)行為的值。穩(wěn)定時間定義了傾斜計信號到達最終位置并保持在最終位置5%范圍內所需的時間。

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