千分尺進給型DIU01手動位移滑臺
發布時間：2025-06-26 17:31:19點擊量：
采用高精度千分尺直接驅動DIU01手動位移滑臺，配備精密交叉滾柱導軌，定位精度達±0.003mm，適用于微米級精密調節。主體采用硬質氧化鋁合金，輕量化且剛性優異，可選配微分頭實現0.5μm分辨率。廣泛應用于光學對準、半導體檢測、精密裝配等需要超高精度定位的領域。
一、產品特點
·千分尺直驅：消除傳動背隙，微調分辨率0.01mm（可選0.5μm）
·高剛性結構：整體硬質氧化鋁合金，抗變形能力強
·超低摩擦導軌：交叉滾柱設計，運動平穩無晃動
·模塊化接口：支持多軸堆疊或旋轉臺組合
二、性能參數
·重復定位精度：±0.003mm（恒溫環境下±0.002mm）
·最大負載：15kg（垂直安裝8kg）
·行程范圍：10-100mm（標準款），支持定制加長
·溫度敏感性：≤0.1μm/℃（配合隔熱選件可降至0.05μm/℃）
·千分尺規格：標配25mm行程，可選50mm長行程型號
三、核心應用
·激光干涉儀光路校準
·顯微物鏡精密對焦系統
·微電子元件裝配定位
·計量儀器標準量塊調整
