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臺面方型DJU01/DJU11手動位移滑臺

發布時間:2025-06-25 16:44:47點擊量:

臺面方型DJU01/DJU11手動位移滑臺(圖1)

臺面方型DJU01/DJU11手動位移滑臺(圖2)

臺面方型DJU01/DJU11系列手動位移滑臺采用高精度交叉滾柱導軌與微分頭驅動系統,專為超精密光學與微納制造設計。DJU01為標準型(±0.005mm),DJU11為增強型(±0.003mm),配備主動溫控系統,熱穩定性達±0.2μm/℃,適用于光刻機校準、量子實驗等高精度場景。


產品特點:


(1)納米級精度:DJU11采用激光干涉儀校準,分辨率0.001mm

(2)溫度穩定:低膨脹合金基座(DJU11主動溫控±0.1℃)

(3)無塵兼容:可選真空版本(10??Pa)

(4)智能監測:DJU11內置振動傳感器(靈敏度0.1μm)

(5)快速切換:模塊化設計支持壓電陶瓷驅動升級

臺面方型DJU01/DJU11手動位移滑臺(圖3)

臺面方型DJU01/DJU11手動位移滑臺(圖4)

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