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超薄型DIF01手動(dòng)位移滑臺(tái)
發(fā)布時(shí)間：2025-06-25 15:17:52點(diǎn)擊量：
DIF01手動(dòng)位移滑臺(tái)采用高精度交叉滾柱導(dǎo)軌與微分頭驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，專為超精密光學(xué)及微納制造領(lǐng)域設(shè)計(jì)。其零膨脹陶瓷合金基座配合主動(dòng)溫控技術(shù)，實(shí)現(xiàn)±0.002mm的極端定位精度，熱穩(wěn)定性達(dá)±0.1μm/℃。適用于光刻機(jī)校準(zhǔn)、量子實(shí)驗(yàn)等納米級(jí)應(yīng)用場(chǎng)景，可選真空兼容版本（10??Pa）。
核心特點(diǎn)：
（1）亞微米級(jí)精度：激光干涉儀校準(zhǔn)導(dǎo)軌，分辨率0.0005mm
（2）環(huán)境免疫：主動(dòng)溫控+磁懸浮隔振（振動(dòng)＜1nm RMS）
（3）無(wú)塵運(yùn)動(dòng)：真空鍍膜導(dǎo)軌面（出氣率＜10?11Torr·L/s）
（4）智能互聯(lián)：支持5G實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)（±0.5μm同步精度）
（5）超長(zhǎng)壽命：石墨烯潤(rùn)滑層（摩擦系數(shù)＜0.001）
