精密DJA71手動位移滑臺
發布時間：2025-06-06 17:44:03點擊量：
DJA71手動位移滑臺采用精密交叉滾柱導軌與千分尺微進給系統，專為超精密光學與微納制造設計。其零膨脹陶瓷基座配合主動溫控系統，實現±0.001mm的極端定位精度，熱穩定性達±0.05μm/℃。適用于光刻機校準、量子實驗等納米級應用場景，真空兼容版本可滿足10??Pa超凈環境需求。
產品特點：
1.原子級精度：激光干涉儀校準導軌，分辨率0.0001mm（選配）
2.環境免疫：主動溫控+磁懸浮隔振（振動＜1nm RMS）
3.無接觸傳動：可選壓電陶瓷驅動器（納米步進0.1nm）
4.極限潔凈：真空鍍膜導軌面（出氣率＜10?11Torr·L/s）
5.智能互聯：集成5G模塊實時上傳定位數據（±0.5μm同步精度）
