電容式傳感器性能和預期用途的應用要求對比
電容式傳感器可以根據其性能和預期用途分為兩類。高分辨率傳感器通常用于需要高精度、穩定性和低溫漂的位移和位置監測應用。這些傳感器經常用于過程監控和閉環反饋控制系統。接近式電容傳感器價格便宜得多，通常用于檢測零件的存在或用于計數應用。
應用
1、位置感應
一般定位可能是電容傳感器最常見的應用。如前所述，電容傳感器的輸出與到目標的距離成正比。如果探頭保持靜止，則放大器檢測到的任何電容變化都與目標位置直接相關。它們的高線性響應和低輸出相移使其非常適合應用于靜態和主動反饋定位應用。
其他典型的位置應用包括：
·顯微鏡聚焦
·鏡頭對準
·零件輪廓
·應力分析
2、動態測量
非接觸式傳感器非常適合測量移動目標，因為它們具有高頻響應并且不會通過增加質量來抑制目標運動。典型的電容傳感系統的帶寬超過20 kHz，非常適合高速應用，例如：
·主軸跳動分析
·壓電反饋定位
·超聲波喇叭振動
·應力分析
3、厚度測量
厚度質量控制監測最好在制造過程中在線應用，而不是在產品制造后進行定期抽樣。通過這種方式，可以“即時”進行流程調整，減少或消除不符合規格的產品的生產。在某些應用中，可以使用接觸方法，但是它們速度慢，會損壞產品并且容易磨損。非接觸式傳感器通常用于這些應用。
典型應用由兩個電容探頭組成，一個位于被測材料的兩側。每個傳感器輸出之間的差異與被測材料的厚度直接相關。通過進行差分測量，可以消除探針間隙內材料的任何位置移動。
使用電容探頭的典型厚度測量
這是典型的厚度設置，A和B代表傳感器輸出。探針之間的間隙G等于A+B+T。如果將已知厚度T的初始樣品放置在間隙內，則可以確定G并將其用于將來的計算。由于厚度=G–(A+B)，并且G是常數，因此可以通過簡單地減去兩個輸出來計算厚度。
如果被測材料的背面可以參考某個固定平面，也可以使用電容傳感器成功進行單面厚度測量。產品厚度與探頭與材料表面之間的間隙成正比。
典型的厚度應用包括：
·半導體晶圓
·計算機磁盤驅動器磁盤
·剎車盤
·鈑金
·光伏晶片
