壓阻式壓力傳感器與單晶傳感器靈敏度的優(yōu)勢對比
對壓阻式壓力傳感器使用新的信號處理技術(shù)的半導體元件能夠?qū)藴收`差參數(shù)進行精確、自動和低成本的電子補償。由此產(chǎn)生的簡化和便利性開辟了廣闊的新應(yīng)用領(lǐng)域，包括將橋式傳感器用于壓力以外的特性。由于大多數(shù)控制系統(tǒng)使用電信號進行操作，因此在進一步處理或分析之前，必須將壓力或力轉(zhuǎn)換為電流或電壓。
電容和電阻信號傳感器通常用于此目的。電容式傳感器將壓力檢測為與兩個（或更多）隔膜之間的距離相關(guān)的電容，該距離隨壓力的變化而變化。為了提供有用的輸出，這種電容變化通常表示為交流信號的衰減或諧振電路中的頻移。在電阻式傳感器中，壓力通過使傳感器機械變形來改變電阻，例如，使橋式電路中的電阻器能夠?qū)毫z測為跨過橋的比例差分電壓。
傳統(tǒng)的電阻式壓力測量設(shè)備包括薄膜電阻器、應(yīng)變儀、金屬合金和多晶半導體。近年來，單晶硅壓力傳感器得到廣泛應(yīng)用。雖然采用半導體技術(shù)制造，但它們也根據(jù)電阻原理運行。單晶半導體中的電阻變化（壓電效應(yīng)）明顯高于標準應(yīng)變儀中的電阻變化，標準應(yīng)變儀的電阻隨結(jié)構(gòu)的幾何變化而變化。摻雜半導體的電導率受極小的機械變形所產(chǎn)生的變化（晶體網(wǎng)格的壓縮或拉伸）的影響。因此，單晶傳感器的靈敏度高于大多數(shù)其他類型的傳感器。
具體優(yōu)點是：
1.高靈敏度，>10mV/V
2.在恒定溫度下具有良好的線性度
3.能夠在沒有信號滯后的情況下跟蹤壓力變化，達到破壞性極限
缺點是：
1.滿量程信號對溫度的強非線性依賴性（高達1%/開爾文）
2.大的初始偏移（高達滿量程的100%或更多）
3.偏移隨溫度的強烈漂移
在一定限度內(nèi)，這些缺點可以用電子電路來彌補。
