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壓阻式傳感器與電容式傳感器的工作技術(shù)原理對(duì)比

發(fā)布時(shí)間:2022-03-01 17:48:25點(diǎn)擊量:

  目前安裝在現(xiàn)場(chǎng)的大多數(shù)壓力傳感器都基于MEMS技術(shù),并利用壓阻式或電容式測(cè)量原理。在本文中,我們將討論它們的主要區(qū)別,并強(qiáng)調(diào)它們各自的優(yōu)點(diǎn)。


  一、壓阻式傳感器的工作原理:


  壓阻一詞由希臘語(yǔ)“壓電”(意為擠壓或按壓)和電阻組成。在壓阻傳感器中,四個(gè)電阻放置在硅膜片上,以測(cè)量施加于它們的應(yīng)變或物理壓力的結(jié)果。任何可察覺(jué)的電阻變化都將通過(guò)惠斯通電橋電路轉(zhuǎn)換成輸出電壓。壓阻式壓力測(cè)量原理是MEMS技術(shù)中發(fā)展最早的原理之一,比電容式壓力測(cè)量原理早很多年。所以是最常用的。壓阻式壓力傳感器因其量程廣、生產(chǎn)成本低,廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、汽車(chē)工業(yè)和家用電器。

壓阻式傳感器與電容式傳感器的工作技術(shù)原理對(duì)比(圖1)

  二、電容式傳感器技術(shù)測(cè)量原理:


  需要兩個(gè)平行且電隔離的導(dǎo)電板來(lái)確保電容式壓力傳感器有效運(yùn)行。底板是固定的,而頂部是對(duì)壓力變化敏感的。當(dāng)施加壓力時(shí),頂板(或膜)彎曲并產(chǎn)生電容Δ。然后,這種電容變化被轉(zhuǎn)換為電信號(hào),可以通過(guò)ASIC或微控制器讀取和調(diào)節(jié)。

壓阻式傳感器與電容式傳感器的工作技術(shù)原理對(duì)比(圖2)

  三、壓阻式傳感器和電容式傳感器的技術(shù)對(duì)比:


  與壓阻式傳感器相比,電容式壓力傳感器具有許多優(yōu)勢(shì)。盡管它們可能需要更復(fù)雜的信號(hào)調(diào)理電路和校準(zhǔn)算法,但它們具有更高的精度和更低的總誤差帶。此外,電容式壓力傳感器具有低功耗,因?yàn)橛捎谄湫再|(zhì),沒(méi)有直流電流流過(guò)傳感器元件。因此,可以設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)非常低功耗的傳感系統(tǒng),只需外部讀取器對(duì)電路施加很小的偏置,使其成為遠(yuǎn)程或植入式醫(yī)療應(yīng)用的理想選擇。

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