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什么是薄膜式壓力傳感器,薄膜式壓力傳感器檢測機構系統

發布時間:2023-07-20 17:05:29點擊量:

薄膜式壓力傳感器是一種常用于測量壓力的傳感器。它通常由一個薄膜材料制成,該膜材料具有壓電特性或應變感應特性。當受到外部壓力作用時,薄膜會發生微小的形變或應變,這會導致膜上的電阻值或電容值發生變化。通過測量這種電阻或電容變化,可以確定所施加的壓力大小。

什么是薄膜式壓力傳感器,薄膜式壓力傳感器檢測機構系統(圖1)

薄膜式壓力傳感器的檢測機構系統通常由以下幾個組成部分構成:


1. 薄膜材料:薄膜通常由金屬或聚合物制成,具有較好的彈性和導電性能。薄膜的選擇取決于所需的測量范圍和環境條件。


2. 支撐結構:薄膜需要放置在一個支撐結構上,以保證傳感器的穩定性和可靠性。支撐結構通常由硅、玻璃或陶瓷材料制成。


3. 電極:一般情況下,薄膜表面涂有導電電極,用于測量電阻或電容的變化。電極通常由金屬薄膜或導電沉積層制成。


4. 信號處理電路:傳感器的輸出通常是一個電阻值或電容值的變化,需要經過信號處理電路進行放大、濾波和轉換,以得到精確的壓力測量結果。


薄膜式壓力傳感器廣泛應用于工業自動化、汽車工程、醫療設備等領域,用于測量液體或氣體的壓力。它具有結構簡單、靈敏度高、響應速度快等特點。

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